摘要：介紹了一種電感式位移傳感器的電路系統(tǒng)。該系統(tǒng)以一片AD698芯片為信號調(diào)整電路的核心,將位移量輸出信號轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的直流電壓值,并結(jié)合其它一系列電路模塊實(shí)現(xiàn)了測頭位移量測量。通過對測頭的標(biāo)定試驗(yàn)證明該系統(tǒng)精度高、線性測量范圍大。
0 前言
隨著傳感器技術(shù)的成熟發(fā)展，傳感器已廣泛應(yīng)用于各種測量裝置中。在很多幾何量測量裝置中，位移傳感器是不可或缺的組成部分。如Mahr公司生產(chǎn)的891EA齒輪測量中心是一款較早實(shí)現(xiàn)電子展成的測量中心，它采用的測頭是旁向位移測頭，該測頭的傳感器即為一維電感式位移傳感器。原測頭電路系統(tǒng)由于硬件局限性，線性測量范圍小，精度不高，已無法滿足891EA的測量需求。本文結(jié)合傳感器的特點(diǎn)，設(shè)計了測頭電路系統(tǒng)，它不僅能滿足測量中心的機(jī)械動作，并在完成原電路測量功能基礎(chǔ)上提高了測量精度，擴(kuò)大了測頭的檢測范圍，提高了測量的安全性；同時，將測頭電路系統(tǒng)與A /D卡配接，可在計算機(jī)的控制下實(shí)現(xiàn)自動檢測功能。
1 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與工作原理
圖1為測頭電路系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖。測頭電路系統(tǒng)主要由信號轉(zhuǎn)換電路、運(yùn)算放大電路、濾波輸出電路、量程切換電路和窗口電壓比較電路五部分組成。傳感器輸出交流電壓信號，電壓值與傳感器磁芯位置成正比，經(jīng)過信號轉(zhuǎn)換電路將其轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的直流電壓信號。運(yùn)算放大電路對直流電壓信號進(jìn)行放大，以滿足后續(xù)電路的電壓需求；放大后的直流信號經(jīng)過濾波輸出電路輸出到A /D 卡，在計算機(jī)控制下實(shí)現(xiàn)自動檢測；同時，濾波信號經(jīng)量程切換電路，將直流電壓信號以對應(yīng)電表不同量程的位移值得以顯示，從而提供直觀的測量結(jié)果；濾波信號經(jīng)窗口電壓比較電路可檢測到測頭位移狀態(tài)，分別以檢測、安裝、報警等狀態(tài)顯示輸出，保證了安裝和檢測過程的安全。
圖1 測頭電路系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖
2 主要功能模塊
2.1 信號轉(zhuǎn)換電路
信號轉(zhuǎn)換電路的功能是將傳感器輸出的交流電壓信號轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的直流電壓信號。信號轉(zhuǎn)換電路的設(shè)計直接影響到整個測頭電路系統(tǒng)的測量精度，是測頭電路系統(tǒng)的核心部分。
傳感器為線性差分式位移傳感器，它的輸入為磁芯的機(jī)械位移，輸出為與磁芯位置成正比的交流電壓信號。傳感器初級線圈由外部參考正弦波信號源激勵，兩個次級線圈反向串聯(lián)，磁芯的移動可改變初級線圈之間的耦合磁通，從而產(chǎn)生兩個幅值不同的交流電壓信號。針對傳感器輸出信號特點(diǎn)， 設(shè)計了基于AD698芯片的信號轉(zhuǎn)換電路。 AD698是一種高精度線性差分式位移變壓器（LVDT） 專用信號調(diào)整電路，可同時接收兩路差動交流電壓信號。圖2為采用AD698對傳感器進(jìn)行信號轉(zhuǎn)換的工作原理圖。AD698用一個正弦波函數(shù)振蕩器和功率放大器來驅(qū)動傳感器初級線圈，并用兩個同步解調(diào)器對初級和次級電壓進(jìn)行解碼，經(jīng)過濾波和放大后最終輸出直流電壓信號；AD698經(jīng)過同步解調(diào)可得到次級線圈輸出電壓值和初級線圈輸出的參考電壓值，通過計算A /B的比例并以此設(shè)置外部元件參數(shù)，可實(shí)現(xiàn)零位電壓漂移補(bǔ)償，從而滿足測量的精度要求；AD698的輸入電壓和輸出電壓范圍較廣（均可達(dá)到正、負(fù)電壓的輸入與輸出） , 可實(shí)現(xiàn)測頭從零位到最大位移量及從最大位移量回到零位的測量，擴(kuò)大了測量范圍。
圖2 AD698工作原理圖
2.2 運(yùn)算放大電路及濾波輸出電路
運(yùn)算放大電路及濾波輸出電路對經(jīng)轉(zhuǎn)換后的信號不同的交流電壓進(jìn)行進(jìn)一步調(diào)節(jié)，可很好地匹配AD698芯片，并滿足下一級電路的處理需求。濾波輸出電路由一個二階"Π"型濾波電路構(gòu)成，在滿足濾波精度要求的前提下，可保證較短的延遲時間。
2.3 量程切換電路
量程切換電路的功能是將電壓信號以對應(yīng)電表不同量程的位移值顯示，從而提供直觀的測量結(jié)果。量程切換電路由三個不同放大倍數(shù)的放大電路組成，外接電表（以電壓值對應(yīng)的位移量顯示） 以實(shí)現(xiàn)輸出電壓值對應(yīng)傳感器位移量的顯示。量程切換電路的放大倍數(shù)分別對應(yīng)電表的不同量程，通過電路電阻參數(shù)的設(shè)置可實(shí)現(xiàn)測頭500, 150, 30μm三檔量程選擇。
2.4 窗口電壓比較電路
窗口電壓比較電路的功能是實(shí)時顯示測頭運(yùn)動狀態(tài)。它由多個不同參數(shù)的比較電路單元構(gòu)成，將濾波輸出后的電壓信號分別與每個比較單元的參考電壓值進(jìn)行比較，從而實(shí)時反映測頭不同的運(yùn)動狀態(tài)。結(jié)合外接信號燈及蜂鳴器，可判斷測頭工作狀態(tài)，并對測頭作出相應(yīng)控制，進(jìn)而防止測頭因過量程運(yùn)動造成的危險，提高測量安全性。這里設(shè)置的測頭運(yùn)動狀態(tài)分別為安裝狀態(tài)、檢測狀態(tài)和報警狀態(tài)。
3 試驗(yàn)驗(yàn)證
用一等環(huán)規(guī)檢定裝置和數(shù)字電壓表對測頭的左、右齒面位移測量進(jìn)行標(biāo)定，標(biāo)定方法采用靜態(tài)特性標(biāo)定法，標(biāo)定試驗(yàn)記錄見圖3、圖4.圖中，k1 , k2 分別表示測頭從零位運(yùn)動到最大位移量和從最大位移量運(yùn)動回零位測頭的靈敏度。
標(biāo)定公式如下：
式中： U為測頭電路系統(tǒng)輸出電壓值，V; k為測頭靈敏度，mV /mm; S 為測頭位移量，mm; b為零位電壓值偏移量，mV。
圖3 左齒面測量數(shù)據(jù)曲線
圖4 右齒面測量數(shù)據(jù)曲線
由標(biāo)定記錄可得到：
1） 測頭的靈敏度
左齒面： - 010186 mV /mm;
右齒面： 010183 mV /mm.
2） 測頭位移量線性測量范圍
左齒面： 312~51112μm;
右齒面： 411~50717μm.
3） 零位電壓值偏移量
左齒面： 41412 mV;
右齒面： 51027 mV.
實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明測頭電路系統(tǒng)測量精度較高，線性測量線性范圍大（ ±500 μm） , 滿足891EA齒輪測量中心的測量需求。
4 結(jié)論
該電路系統(tǒng)可將測頭所檢測的細(xì)微位移量經(jīng)過一系列信號調(diào)整及濾波、放大，轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的直流電壓信號。經(jīng)過測頭標(biāo)定試驗(yàn)驗(yàn)證，證明該系統(tǒng)測量精度高、線性測量范圍大、測量安全性能好，滿足891EA齒輪測量中心的測量要求。 
